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ガラス製装置

石英ガラス製品

高品質な石英加工技術を基に、時代のニーズに対応します。

ラボ用ガラス製品から特注装置まで、規格品・特注品を問わず幅広いご要望に合わせた石英ガラス製品を1個からご提供します。
まずはお気軽にお問合せ下さい。

石英ガラス規格品

石英ガラス製の各種実験器具です。
各部サイズ、容量の変更等ご希望の仕様で特注することも可能です。お気軽にお問合せください。

 

石英ガラス製規格品

石英ガラスフィルター

高温環境下での使用や最高純度のフィルターが必要とされる場合に最適です。

 

最大サイズ
(mm)
直径厚み
Φ10010
細孔 (JIS規格)G2相当
(40 ~ 50 μm)

 

石英ボール

不純物の溶出が少ないため、ろ過、充填剤に用いられます。
また、高純度なSiO2からなるため、ガラスビーズに比べアルカリ不純物が極めて少なく、耐食性、耐摩耗性に優れています。そのため粉砕用ボールとしての利用にも適しています。

 

球形 (mm)Φ5 ~ Φ80
仕上げ透明・白色 (摺り)

 

石英ネジ・ネジ加工品

石英ガラス製のネジを製作します。不純物を嫌う環境・高温環境下でボルト・ナットとして使用することが可能です。
その他、ネジ切り加工を加えた製品もご要望に応じて製作可能です。

 

ネジ種ネジ長さ備考
オスネジM2 ~ M60200 L以下Φ250まで可能
メスネジM24 ~ M6030 L以下

 

  • ※ネジ切りの角度・ピッチなど、お客様のご要望に応じて製作可能です。

不透明石英ルツボ

電気アーク溶融石英のルツボです。クリアな内壁とザラザラする白濁の外壁を持っています。内壁はほとんど気泡がなく、視認性に優れています。

■成分表
AlLiKNaCaFeTiMgCuBOHSiO2
本体
(ppm)
140.90.60.90.40.230.60.050.050.085099.99%
内層
(ppm)
80.150.350.90.40.230.60.050.050.045099.99%

■サイズ
規格外径 (OD)
(mm)
高さ (H)
(mm)
厚み (W)
(mm)
半径 (R)
(mm)
半径 (r)
(mm)
14"355.6 ± 2.0280 ± 28.5 ± 2.038189
16"406.5 ± 2.5305 ± 29.0 ± 2.040676
18"457.0 ± 2.5324 ± 2
9.5 ± 2.0500120
20"505.0 ± 3.0360 ± 210.0 ± 2.050890
22"555.0 ± 3.0370 ± 211.0 ± 2.0558130
24"607.0 ± 3.0355 ± 212.0 ± 2.0609120
26"655.0 ± 3.0420 ± 212.0 ± 2.5660120

石英ガラス製炉芯管

実験用の各種小口径炉芯管を製作します(合成石英での製作も可能)。
接続部分はテーパー・ボールジョイントなど様々な形状に対応します。

 

外径Φ25 ~ 78 mm ※1
全長600、1,000 mm ※1
最大直径450 mm ※2

※1 標準サイズです。これ以外の外径・全長にも対応します。
※2 生産用炉芯管も製作します。加熱源も含めてご相談ください。

クォーツウエハー

半導体製造などで使用される円形基盤です。

合成石英ガラス (酸水素溶融)天然石英ガラス (酸水素溶融)
4”
100 ± 0.25 mm
6”
150 ± 0.25 mm
8”
200 ± 0.25 mm
4”
100 ± 0.25 mm
6”
150 ± 0.25 mm
8”
200 ± 0.25 mm
オリエンテーション
フラット
32.5 ± 2.5 mm57.5 ± 2.5 mm32.5 ± 2.5 mm57.5 ± 2.5 mm
肉厚0.5 ~ 5.0 ± 0.05 mm0.7 ~ 5.0 ± 0.05 mm0.5 ~ 5.0 ± 0.05 mm0.7 ~ 5.0 ± 0.05 mm
表面研磨光学グレード (DSP)
端部仕上げR付
欠け< 0.3 mm
歪みnone
屈折率
(@632.8 nm)
1.457
歪み点> 1050℃
徐冷点> 1150℃
OH 含有量800 ~ 1200 ppm150 ~ 250 ppm
SiO2率99.9995%99.98%
気泡< 0.01 mm< 0.2 mm

石英ヒーター

加熱洗浄用・予熱用等に使用される投げ込み式ヒーター。
発熱体の下側に不透明石英ガラス製の反射板を設置し、ヒーター下面のピンホール発生を削減。ヒーターの耐久性を高め、熱ロスを防止することで熱放射効率が飛躍的に向上しました。また、安全性を高めるため、内部に漏液センサーを内蔵しました。

 

使用発熱体カンタル 210 V × 2 kW
リード線Ni 線+ PTFE 被覆電線

 

石英ガラス製熱交換器

高純度石英ガラス製の熱交換器です。
高純度薬液蒸留において、ホウケイ酸ガラス製では純度に限界があるため、薬液蒸留プラント全体または主要箇所に石英製品が使用されています。
薬液の純度に応じた石英純度の素材で、熱交換器をはじめとしたガラスプラントの製作も承ります。

コイル式熱交換器

昇華精製装置

炉芯管からヒーター、排気系、温調器等の付帯設備まで、必要な機器を全て一体化した昇華精製装置です。有機エレクトロニクスの基礎研究に最適です。
ラボサイズの小型昇華精製装置から大型昇華精製装置まで対応します。

炉芯管材質:石英ガラス
外径 Φ45 × 内径 Φ41 × 800 mm
処理量~ 10 g
電気炉・加熱側ヒーター × 6個 (上下2分割式 面状ヒーター構造)
 最高使用温度 500℃ (常用100 ~ 450℃)
・加温側ヒーター × 4個 (上下2分割式 面状ヒーター構造)
 最高使用温度 500℃ (常用100 ~ 450℃)
温度調節方式温度調節器 オートチューニング付PID制御
出力電圧連続制御方式
高真空排気装置ターボ分子ポンプ (空冷式) 1台、ドライ真空ポンプ 1台
到達真空度10-4 Pa オーダー
冷却トラップ 液体窒素用 (分割式1式)、 冷却水用 (1式)
装置電源3相 AC 200 V
本体サイズ幅 1500 × 高さ 1340 × 奥行 500 mm
重量350 kg

昇華精製装置 SU-45-800(炉芯管径 Φ45)

 

 

LSIフォトマスク用合成石英基盤

Code長 × 幅
肉厚平坦度
(μm)
サイズ(mm)公差(mm)サイズ(mm)公差(mm)
4006101.2 × 101.2
±0.21.5±0.12
4009101.2 × 101.2±0.22.3±0.12
5009126.6 × 126.6±0.22.3±0.15
6009152.0 × 152.0±0.22.3±0.15
6012152.0 × 152.0±0.23.05±0.12
6015152.0 × 152.0±0.23.8±0.12
6025152.0 × 152.0±0.26.35±0.12

薄膜コーティング付き石英ガラス

クオールドのイオンアシスト蒸着法(IAD)とイオンビームスパッタ法(IBS)を用いた幅広い種類の薄膜コート付き石英ガラスをご提供しています。

 

■主なコーティング付き石英ガラス

a. 反射防止膜コーティング(AR) – Anti-Reflection(AR)coatings
・反射損失  R ≤ 0.2%

b. 誘電体反射ミラーコーティング – Metal and Dielectric Mirror coatings
・紫外光、可視光、近赤外、赤外光向け高反射用
・多層膜メタルコーティング :反射率99%
・誘電体反射ミラーコーティング :反射率99.85%

※積層金属:金、銀、アルミニウム、クローム、ニッケル、チタン、プラチナ、タンタルウム、タングステン等
※誘電体反射ミラーコーティング:TiO2、Ta2O5、ZrO2、SiO2、HfO2、Al2O3、Y2O3

 

■一般的なサイズ

・Φ50 × 2.0 mm、Φ55 × 1.4 mm AR Coated.
・標準品だけでなく、カスタム品の製造も承っています。

その他 特注石英ガラス製品

石英ガラス棒・管、分析用石英トーチまで、お客様のご要望にあわせた製品を製作します。

旭製作所は、どんな実験・生産にも対応できる理化学機器を研究者の皆様にご提供します

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