石英ガラス材料
石英ガラスは、一般のガラスに比べ非常に高い純度と物理的な安定性を持っており、半導体製造装置の容器や炉芯管などの治具類や理化学用の器具などに、幅広く利用されています。
溶融石英ガラス
溶融石英ガラスの製造方法は、主に「電気溶融」「酸水素溶融」「プラズマアーク溶融」の3つです。天然石英砂の二酸化ケイ素（SiO2）や化学合成物の四塩化シリコン（SiCL4）が原材料として用いられています。
製造方法と原材料の異なる組み合わせから、次のラインナップをご用意しています。
EN：電気溶融法による天然石英
FN：酸水素溶融法による天然石英
PN：プラズマアーク溶融法による天然石英
FS：酸水素溶融法による合成石英
PS：プラズマアーク溶融法による合成石英
EO：電気溶融による不透明石英
化学組成
| ガラスタイプ | 原料 | 特徴 | Al | Li | K | Na | Ca | Fe | Ti | Mg | Cu | B | SiO₂ |
| EN07 PN07 | ユニミン CG 砂 | 透明 | 14.0 | 0.9 | 0.6 | 0.9 | 0.4 | 0.23 | 0.6 | 0.05 | 0.05 | 0.08 | 99.99% |
| EN08 FN08 | アフリカ産水晶使用 中国砂 | 透明 | 17.4 | 1.7 | 0.4 | 1.1 | 0.8 | 0.3 | 2.8 | 0.1 | 0.1 | 0.2 | 99.98% |
| EN09 | 水晶石使用中国砂 | 透明 | 23.2 | 2.0 | 5.4 | 6.1 | 3.1 | 4.8 | 2.0 | 2.5 | 0.5 | 0.3 | 99.95% |
| EN07Ti PN07Ti | ユニミン CG 砂 | Ti ドープ | 14.0 | 0.9 | 0.6 | 0.9 | 0.4 | 0.23 | 200 | 0.05 | 0.05 | 0.08 | |
| EN09Ti | 水晶石使用中国砂 | Ti ドープ | 23.2 | 2.0 | 5.4 | 6.1 | 3.1 | 4.8 | 200 | 2.5 | 0.5 | 0.3 | |
| PN07Ce | ユニミン CG 砂 | Ce ドープ | 14.0 | 0.9 | 0.6 | 0.9 | 0.4 | 0.23 | 0.6 | 0.05 | 0.05 | 0.08 | |
| EN09Ce | 水晶石使用中国砂 | Ce ドープ | 23.2 | 2.0 | 5.4 | 6.1 | 3.1 | 4.8 | 200 | 2.5 | 0.5 | 0.3 | |
| EN09Sa | 水晶石使用中国砂 | ルビー色 | 23.2 | 2.0 | 5.4 | 6.1 | 3.1 | 4.8 | 2.0 | 2.5 | 0.5 | 0.3 | |
| EO09 EO09C | 中国産白濁石英砂 | 不透明 | 69.0 | 3.9 | 5.7 | 8.2 | 1.8 | 0.5 | 17.0 | 0.1 | 0.3 | 0.3 | 99.9% |
| FS03 PS03 | SiCl4 | 合成石英 | 0.12 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.05 | 0.05 | 0.03 | 99.9998% |
unit: ppm
ガラスタイプと主な用途
天然溶融石英ガラス
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EN07 EB OH ≦ 5 ppm
産業用標準石英であり、多くの産業界で使用
半導体や高性能ランプ、その他の高温環境で使用される -
EN07 SB OH ≤ 1 ppm
メタルハライドランプ、キセノンフラッシュランプ、レーザーフラッシュランプ、中圧UVオゾンランプ、中圧UVオゾンランプのスリーブ用
高純度の石英砂を用いた電気溶融による石英N07は、SiO2 ≥ 99.99% の原材料としての特性を持ちます。
高純度で水酸基が低く、公差特性・熱特性・光学特性が良いですが、エアラインや気泡が若干あります。
チューブやロッド、プレートやディスクに用いられます。
-
PN07 OH ≤ 5 ppm
半導体や高性能ランプ、その他の高温環境で使用される
高純度の石英砂を用いたプラズマアーク溶融による透明石英N07は、SiO2 ≥ 99.99% の原材料としての特性を持ちます。
高純度で水酸基が低く、マンドレルダイを用いずに引き抜かれたもので、引き抜き線がなく、高い均一性と気泡の少なさに特徴があります。
シリンダーやチューブ、リング状でご用意しています。
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EN08 UB OH ≤ 150 ppm
低圧UVオゾン殺菌ランプやオゾンフリーUVキュア殺菌ランプのスリーブ用、光ファイバー
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EN08 NB OH ≤ 50 ppm / EN08 EB OH ≤ 10 ppm
低圧UVオゾン殺菌ランプ用チューブ、低温での半導体、太陽電池、光ファイバー
SiO2 ≥ 99.98% の中純度な石英砂を用いた電気溶融石英がN08であり、純度的にはEN07とEN09の中間に位置します。
180-220 nmの波長で良い透過性を持ち、低温環境であれば半導体や太陽電池用途としてEN07の代わりに使用できます。
チューブやロッド、プレート、ディスク形状でご用意しています。
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FN08 OH ≤ 175 ppm
ハンドルロッド、チューブ、光ファイバー、低温での半導体、太陽電池
SiO2 ≥ 99.98% の石英砂を用いた酸水素溶融石英のN08を用いており、少ない気泡と引き抜き線のなさに特徴があります。
ロッド、プレート、リング、インゴットでご用意しています。
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EN09 UB OH ≤ 150 ppm
低圧UVオゾンランプのスリーブ用、熱電対、安価なハロゲンランプ、低圧ランプの排気管
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EN09 NB OH ≤ 70 ppm
ハロゲンランプ、高圧水銀ランプ、研究用・化学用やその他の高純度を必要としない産業界向け
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EN09 EB OH ≤ 15 ppm
特定用途の高圧水銀ランプ
電気溶融法による透明溶融石英には、原材料にSiO2 ≥ 99.95% のやや純度の落ちる石英砂EN09が使われ、公差特性が高く、耐熱特性、機械特性に優れています。
エアラインや気泡が入りやすいタイプですが、チューブやロッド、プレートに用いられます。
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EN07Ti SB OH ≤ 1 ppm
オゾンフリー複写用ランプなどの中低圧オゾンフリーUVランプ、日焼け用ランプ、キセノンフラッシュランプ、中圧UVランプのスリーブ、レーザー励起用高性能ランプ、高性能キセノンフラッシュランプ
電機溶融チタン含有石英は「オゾンフリー石英」として知られています。
オゾンを発生させる220 nmを遮断し、N09型とN07型にドーピングし、それぞれEN09Ti、EN07Tiとしてチューブとプレートでご用意しています。
このような光学特性を除いて、形状、温度特性、機械特性はオリジナルの透明石英と同等です。
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PN07Ti OH ≤ 5 ppm
レーザー励起用高性能ランプ、高性能キセノンフラッシュランプ
プラズマアーク溶融チタン含有石英は「オゾンフリー石英」として知られ、220 nmを遮断します。AG!ではN09タイプの石英砂にドーピングを施してEN09Tiを作成しています。
このような光学特性を除いて、形状、温度、機械特性は通常の透明溶融石英と変わりません。
チューブやプレートでご用意しています。
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EN09Ti UB OH ≤ 150 ppm
低圧UVランプのスリーブ
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EN09Ti EB OH ≤ 10 ppm
低圧オゾンフリーUVランプのチューブ
電機溶融チタン含有石英は「オゾンフリー石英」として知られています。
オゾンを発生させる220 nmを遮断し、N09型とN07型にドーピングし、それぞれEN09Ti、EN07Tiとしてチューブとプレートでご用意しています。
このような光学特性を除いて、形状、温度特性、機械特性はオリジナルの透明石英と同等です。
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PN07Ce OH ≤ 5 ppm
レーザ励起用フラッシュランプ
プラズマ溶融セリウム含有石英は、UVをほぼ完全に遮断します。
この石英は心棒や金型を用いずに作成されるため、引き抜き線が生じません。均一性が高く、気泡が生じない製品です。
チューブとプレートでご用意しています。
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EN09Ce NB OH ≤ 70 ppm
UV遮断型ハロゲンランプ、メタルハライドランプのスリーブ、自動車用HIDランプ、低価格なUV遮断用
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EN09Ce EB OH ≤ 20 ppm
高性能UV遮断型ハロゲンランプ
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EN09Ce SB OH ≤ 15 ppm
特定用途のみ
電気溶融セリウム含有石英はUV遮断またはUVカットクォーツとして知られており、可視光域の高い透過性とともにUV域をほぼ完全に遮断します。
このような光学特性を除いて、通常の溶融石英と同じ特性を持ちます。
ロッド、プレートでご用意しています。
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EN09Sa NB OH ≤ 70 ppm
赤外線ハロゲンランプ
電気溶融サマリウム含有石英はルビークオーツとして知られ、全てのUV領域と600 nm域の波長をカットします。また、1000 nm以上の波長の透過性は90％以上です。
赤外線ヒーター用途に最適であり、チューブ形状でご用意しています。
合成透明溶融石英ガラス
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FS03 OH ≤ 1200 ppm
厳環境での半導体用途、光学、赤外線では使用不可
超高純度の酸水素溶融合成石英で、原材料にSiO2 ≥ 99.9995 %の合成シリカSiCl4を用いています。
高純度で視認性に優れ、ほとんど気泡が発生しません。
ロッドやインゴット、プレートでご用意しています。
不透明石英ガラス
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EO09 NB OH ≤ 15 ppm
赤外線加熱、酸処理、太陽電池
SiO2 ＞ 99.9% を持つO-09タイプの石英砂を電気溶融した不透明石英です。
特殊な製造技術により、視認性が良く、気泡が少なく、高温耐熱性や断熱性が高い上、酸に強い（フッ化水素酸を除く）材料となっています。
チューブでご用意しています。
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EO09C OH ≤ 100 ppm
半導体、太陽電池
SiO2 ＞ 99.9% を持つO-09タイプの石英砂を電気的にバッチ溶融した不透明石英です。
特異な製造技術により、視認性が良く、気泡が少なく、高温耐熱性や断熱性が高い上、酸に強い（フッ化水素酸を除く）材料となっています。
チューブ、プレート、リングでご用意しています。
焼結石英ガラス
焼結石英ガラスは溶融シリカとも呼ばれ、SiO2 ≥ 99.9% の比較的高純度な溶融天然シリカ砂を主材料に用いています。
溶かしたシリカ砂を他の含有材料と混合して成形し、ルツボやローラー、ブロック状に焼結。できた製品はセラミックスのような白色をしています。
特殊な鋳造技術によって作られたこのルツボは、均質な構造を持ち、高い熱衝撃抵抗と破断抵抗を有します。さらに、独特の粗さを持った表面がSi3N4のコーティングの定着を助けるため、コーティングが長持ちします。
太陽電池向け多結晶シリコンインゴットの育成用に最適です。
化学組成
| Al | Ti | Fe | Ca | Cu | K | Li | Mg | Na | Zr | Mn | P | B | Ba | SiO2 |
| 211 | 6.324 | 19.66 | 22.55 | 0.1 | 26.28 | 1.282 | 4.287 | 20.62 | 1.27 | 0.3 | 0.16 | 0.2 | 0.45 | ≥ 99.9% |
unit: ppm
物性
| 体積密度 (g/㎤) | ≥ 1.78 |
| 見掛け気孔率 (％) | ≤ 15.0 |
| 圧縮強度 (Mpa) @20℃ | ≥ 50.0 |
| 曲げ強度 (Mpa) @20℃ | ≥ 20 |
| 結晶化度 (vol％) | 1.0 |
| 熱膨張率 (10-6/0℃) | ≤ 0.9 |
| 熱伝導率 (w/m.0℃) | 0.6 - 1.7 |
| 最高使用温度 (℃) | 1650 |
方形ルツボ
| 仕様 (長さ × 幅 × 高さ × 厚さ) | 公差 | |||
| 長さ | 幅 | 高さ | 厚さ | |
| 500 × 500 × 420 × 20 | ±2 | ±2 | +0, -2 | ±2 |
| 720 × 720 × 420 × 20 | +0, -3 | |||
| 880 × 880 × 422 × 22 | +8, -0 | +8, -0 | +0, -8 | |
| 880 × 880 × 480 × 22 | ||||
| 1040 × 1040 × 480 × 24 | +8, -5 | +8, -5 | +0, -5 | |
unit: mm
石英ローラー
| 仕様(OD × L) | Φ15 × 670 | Φ40 × 1786 | Φ45 × 1887 | Φ55 × 2104 | Φ60 × 2400 | Φ65 × 2550 |
| Φ75 × 2920 | Φ80 × 3120 | Φ85 × 3420 | Φ90 × 3495 | Φ95 × 3496 |
unit: mm
