部品洗浄・オーバーホール

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半導体製造装置 各種部品の洗浄・オーバーホール

旭製作所では、イオン注入装置、サーマルプロセス(熱処理成膜装置)/CVD装置、DRY装置など、半導体製造関連装置の部品洗浄、オーバーホール業務を承っております。
従来の薬液洗浄や超音波洗浄に、最新技術であるドライアイス洗浄を組み合わせることで、素材を傷つけず、かつ精度の高い洗浄が可能になりました。ナノレベルの繊細な洗浄から、熱硬化した汚れの洗浄まで、どんな装置・汚れでも対応致します。

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20年の実績に裏打ちされた作業の正確性
総勢30名のスタッフが、スピーディーかつ柔軟に対応

最先端の洗浄技術 ドライアイス洗浄

旭製作所では、国内ではまだ珍しいドライアイス洗浄機をいち早く導入し、
より装置を傷つけにくく、より強力な部品洗浄を可能にしました。

ドライアイス洗浄の特長

1.ドライアイスの性質を利用した高い剥離能力
-78.9℃の瞬間冷却によるサーマルショック効果とドライアイス昇華時の体積膨張効果
2.ワークに傷をつけにくい
ドライアイスは柔らかい物質の為研磨力が低く、金属に傷を付けない
3.ブラスト材が残らず、後処理の時間短縮やコスト削減に有効
ドライアイスは液体にならず直接固体から気体へと昇華
4.洗浄用途が広い
精密なナノレベルの洗浄ならドライアイスパウダー洗浄、大型設備の頑固な汚れならドライアイスペレット洗浄と打ち分けが可能。

対応可能な装置

  • 半導体製造装置イオン注入装置
  • 半導体製造装置 DRY装置
  • 半導体製造装置 サーマルプロセス(熱処理成膜装置)/CVD装置
  • 半導体製造装置 真空ポンプ

※その他、半導体関連装置以外の部品洗浄・オーバーホールもお気軽のご相談ください。

(例)

  • 自動車製造関連装置(プラスチック金型のガス、プレス金型の鉄粉・油、塗装ブースの塗料の洗浄)
  • プラスチック製品製造関連装置(射出成型機のスクリューのプラスチックやパージ材、金型の樹脂やガスの洗浄)
  • ゴム製品製造関連装置(金型のゴム残留物や離型剤の洗浄)
  • 出版・印刷関連機器(印刷機械のインクの洗浄)
  • 化学工業装置(タンクや攪拌機内の原材料・コークス・熱硬化した紛体の洗浄)
  • 石油・石炭製造関連装置(コールタール・石油タンクの錆の洗浄)

対応エリア

西日本エリア全域(離島を除く)
※一部製品・一部業務はお受けできないエリアがあります。

対応エリア

メンテナンス実施までの流れ

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次の製品にはヒアリングシートをご用意しております。
反応装置 ラボタイプ(~5L) / 反応装置 プラントタイプ(6L~)
薄膜蒸発装置・ショートパスエバポレーター・分子蒸留装置
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