装置定期点検

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装置定期点検(メンテナンス)

旭製作所では、半導体関連装置・真空機器の定期点検(メンテナンス)サービスをご提供しております。
定期的なメンテナンスを行うことにより、故障率を低く抑えると同時に、装置寿命を伸ばし信頼性の高い稼働率を維持することができます。
旧世代の装置から最新型の装置まで、多様な装置に対応しています。

20年の実績に裏打ちされた作業の正確性
総勢30名のスタッフが、スピーディーかつ柔軟に対応

対応可能な装置

  • 半導体製造装置イオン注入装置
  • 半導体製造装置ドライエッチャー装置
  • 半導体製造装置サーマルプロセス(熱処理成膜装置)装置
  • 環境測定装置塩化水素濃度計

※その他、半導体関連装置以外のメンテナンス・定期点検もお気軽のご相談ください。

対応エリア

西日本エリア全域(離島を除く)
※一部製品・一部業務はお受けできないエリアがあります。

メンテナンス実施までの流れ

部品洗浄・オーバーホール

半導体関連装置を中心に、弊社工場での部品洗浄業務・オーバーホール業務も承っております。
お気軽にご相談ください。

部品洗浄・オーバーホールの詳細

お問合せ お見積り依頼 パンフレットダウンロード

次の製品にはヒアリングシートをご用意しております。
反応装置 ラボタイプ(~5L) / 反応装置 プラントタイプ(6L~)
薄膜蒸発装置・ショートパスエバポレーター・分子蒸留装置
※各製品名をクリックの上、ヒアリングシートをダウンロードして下さい。

最寄りの営業所にお問合せいただくと、よりスムーズなご対応が可能です。
営業所の一覧と連絡先はこちらをご確認ください。